Кавасаки чистая комната Kawasaki NS511

В ожидании более запаса

Роботы серии NS, предназначенные для применения в чистых помещениях NS511 (потолочное крепление с флип) с движением RTZ с опциональными длинами линейной оси для дополнительного диапазона FOUP. Они обеспечивают высокую производительность при обработке 300 мм пластин. Программное обеспечение и аппаратные средства оснащены функциями обнаружения столкновений и соответствуют стандартам защиты от перенапряжений SEMI F47 и стандартам окружающей среды, здоровья и безопасности SEMI S2.

Контроллер D
D предназначены для разработки приложений для чистых помещений, включающих полный цифровой сервопривод, стандартный Ethernet-порт связи, компактную площадь, гибкую разработку различного программного обеспечения, независимую работу двух плеч и многоосевых элементов управления, унифицированные сервоусилители для всех осей, стандарты для окружающей среды , здоровье и безопасность SEMI S2, белая комната ISO 1.
Спецификация контроллера D60
  • Серво цифровая система
  • Управляемые оси: максимум 7 осей
  • Ручное, полуавтоматическое, полностью автоматическое обучение.
  • Внешняя аварийная остановка, рядом с безопасностью, внешняя остановка.
  • Оборудование: RS232C x 1 Ethernet.
  • Программное обеспечение: K-Utility (оригинальная команда связи Kawasaki для чистых роботов).
  • Энергия: Напряжение: однофазное, AC208 V ± 10%, 50/60 Гц. Стандарт: SEMI F47.
  • Входной сигнал: максимум 16 каналов.
  • Выходной сигнал: максимум 8 каналов
  • Совместимые серии роботов: NS, NT, NX, TT, TX и NV
Спецификация контроллера D61
  • Серво цифровая система
  • Управляемые оси: Максимум 12 осей
  • Ручное, полуавтоматическое, полностью автоматическое обучение.
  • Внешняя аварийная остановка, рядом с безопасностью, внешняя остановка.
  • Оборудование: RS232C x 2 Ethernet.
  • Программное обеспечение: K-Utility (оригинальная команда связи Kawasaki для чистых роботов).
  • Энергия: Напряжение: однофазное, AC208 V ± 10%, 50/60 Гц. Стандарт: SEMI F47.
  • Входной сигнал: Максимум 96 каналов
  • Выходной сигнал: максимум 80 каналов
  • Совместимые серии роботов: NS, NT, NX, TT, TX и NV
Основные технические характеристики
 
Количество осей: 4
Класс ISO 5
Повторяемость: ± 0,1 мм (центр пластины)
Контроллер: D60 / D61
 
Диапазон движения (°)
 
Ось Y (перемещение JT1): -
ось θ (вращение JT2): 473 °
Ось Z (вверх JT3): 440 мм
Ось X (вверх JT4): 816,5 мм
Ось F (вращение JT5): 200 °
 
Приложения для роботов
 
Чистая комната

Области применения

Обработка деталей , Сборка деталей

Картинки

Диаграммы