三连杆NX540是一种刚性单臂结构,可以很容易地从FOUP到对准器的高性能空间达到每小时300片(WPH)的晶片级,然后到达带有双操作臂的台架,符合ISO 1级标准的SEMI-F47标准系统,即时解决电压恢复时自动系统的电压下降和重启,标准SEMI-S2对环境的保护,对人身安全,系统防碰撞
控制器D
D控制器旨在开发无尘室应用,包括完整的数字伺服过程,标准的以太网通信端口,紧凑的占地面积,灵活的不同软件开发,双臂和多轴控制的独立操作,全轴统一伺服放大器,标准环境,健康安全SEMI S2,白色房间ISO 1。
D60控制器的规格
- 伺服完整的数字系统
- 受控轴:最多7轴
- 手动,半自动,全自动教学。
- 外部紧急停车,接近安全,外部停车。
- 硬件:RS232C x 1以太网。
- 软件:K-Utility(清洁机器人的原川崎通信命令)。
- 能量:电压:单相,AC208 V±10%,50/60 Hz。标准:SEMI F47。
- 输入信号:最多16个通道。
- 输出信号:最多8个通道
- 兼容机器人系列:NS,NT,NX,TT,TX和NV
D61控制器的规格
- 伺服完整的数字系统
- 受控轴:最多12个轴
- 手动,半自动,全自动教学。
- 外部紧急停车,接近安全,外部停车。
- 硬件:RS232C x 2以太网。
- 软件:K-Utility(清洁机器人的原川崎通信命令)。
- 能量:电压:单相,AC208 V±10%,50/60 Hz。标准:SEMI F47。
- 输入信号:最多96个通道
- 输出信号:最多80个通道
- 兼容机器人系列:NS,NT,NX,TT,TX和NV
主要规格
轴数:4
ISO 1级
链接:3
重复性:±0.25毫米
控制器:D60 / D61
运动范围(°)
θ轴
(旋转JT2) |
318° |
440毫米 |
Z轴
(上下JT3) |
1,232毫米 |
336° |
X轴
(进/出JT4) |
|
W轴 - 较低
(旋转JT6) |
- |
W轴 - 上
(旋转JT7) |
|
机器人应用
整理房间