为洁净室应用而设计的NT系列机器人最多可实现四个FOUP,NT620双臂吊架可提供每小时280个晶片(WPH)和对准器的标准性能,以及400个不带校准器的WPH。软件和硬件均具有碰撞检测功能,并符合SEMI F47电压暂降无损标准和SEMI S2环境,健康和安全标准。
控制器D
D控制器旨在开发洁净室应用,包括完整的数字伺服过程,标准的以太网通信端口,紧凑的尺寸,灵活的不同软件开发,双臂和多轴控制的独立操作,所有轴的统一伺服放大器,标准环境,健康和安全SEMI S2,ISO 1白色房间。
D60控制器的规格
- 伺服完整的数字系统
- 受控轴:最多7轴
- 手动,半自动,全自动教学。
- 外部紧急停车,接近安全,外部停车。
- 硬件:RS232C x 1以太网。
- 软件:K-Utility(清洁机器人的原川崎通信命令)。
- 能量:电压:单相,AC208 V±10%,50/60 Hz。标准:SEMI F47。
- 输入信号:最多16个通道。
- 输出信号:最多8个通道
- 兼容机器人系列:NS,NT,NX,TT,TX和NV
主要规格
轴数:5
最大达到:1,250.7毫米
重复性:±0.1毫米(晶圆中心)
控制器:D60 / D61
运动范围(°)
θ1轴(旋转JT2):340°
Z轴(上下JT3):600毫米
θ2轴(旋转JT4):340°
H1轴(旋转JT6):340°(380°)comoopción
H2轴(旋转JT7):380°
机器人应用
整理房间